質量流量控制器應該先通氣還是先設流量？

客戶在使用易度氣體流量控制器（MFC）時反映有這樣的問題：剛通氣時流量會瞬間達到可測量的最大值并顯示告警信息，然后又迅速穩定到設定值，客戶覺得易度MFC有很嚴重的超調過沖問題。經過與客戶詳細交流后發現，客戶是先將MFC設定流量，再開啟截止閥給管路通氣。MFC在使用過程中到底應該先通氣還是先設流量呢？

圖：常見MFC連接方式

我們先來看MFC的工作原理。

MFC通過流量測量部分測量氣體流量，并根據測量值發出反饋信號調節閥門開口大小，達到控制流量的目的。當測量的流量小于設定流量時，就會增加閥門開口度，讓氣體流量增加，反之亦然。

圖：MFC工作示意簡圖

了解了MFC的工作原理，再來看客戶遇到的問題就容易理解了。

在不通氣的情況下，將MFC設定流量后，流量傳感器檢測流量為零，小于設定值，于是微處理器發出信號將閥門開大，再檢測流量，發現流量仍然是零，仍然小于設定值。微處理器只能繼續發出控制信號直到將閥門開到最大并保持這個狀態。這時打開截止閥，氣體瞬間開始流動起來，而此時閥門開到了最大，氣體就會以一個很大的流量值流過MFC。MFC檢測到流量超過了設定值，于是控制閥門開口度減小，將實際流量穩定在設定值。這就是先設流量再通氣時MFC的實際工作過程。

這并不是MFC本身的問題，而是在使用MFC時的操作順序問題。正確的操作順序是先通氣，再設流量。

先通氣時，由于易度MFC是自主研發的閥門，具有截止能力，能夠將閥門關閉，因此并不會有流量產生。這時設定流量，MFC打開閥門，將流量從零迅速調整到設定值，達到精確控制流量的目的。