更換氣瓶時如何保護MFC？

      通常氣瓶的氣體需要通過減壓閥調節到一個比較低的壓力才會連接到MFC。當氣瓶壓力過低時，就需要更換氣瓶。但是有的客戶在換上新的氣瓶后發現MFC已經損壞了，這是為什么呢？ 

      首先我們需要了解一下減壓閥的工作原理。

      手動調壓閥是通過調節彈簧壓緊量，使閥口打開，氣體經過閥口流向后端，當出口壓力逐漸上升到調定壓力時，向上頂起膜片的氣體壓力逐漸增大，直到彈簧力和出口氣體壓力達到平衡。

      如果此時把氣瓶拆掉，入口沒有高壓氣體了，彈簧力會使減壓閥的閥口開到一個比較大的開度。接上新的氣瓶并打開氣瓶開關后，高壓氣體突然進入減壓閥，由于壓力在氣體中傳播非常快，減壓閥的閥口又開得比較大，高壓氣體會瞬間直接經過減壓閥，傳遞到后端。減壓閥膜片感應到出口氣體壓力上升，逐漸將閥口關小直至關閉。但是剛才的瞬間高壓足以到達MFC內部，導致MFC的傳感器損壞。

      因此正確的更換氣瓶的做法是將減壓閥關閉，再更換氣瓶。或者在減壓閥后接截止閥，更換氣瓶時關閉截止閥，就可以有效保護MFC及整個系統了。