氣體質量流量控制器

易度智能氣體質量流量控制器【簡稱MFC】基于內部補償型*層流壓差技術，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，通過精密電磁比例調節閥自動控制氣體流量，從而提供更加準確和穩定的流量測量和控制。層流質量流量控制器可作為主要設備在高校科研院所和廣泛的工業過程自動化控制中使用。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點擊輸入設定流量，或者提供上位機軟件設定流量。

l 核心優勢：高精度、高重復性、快速響應

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示4種過程變量

l 內置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數，并可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計模式使用

產品規格：

l 產品型號：

SC系列-帶觸摸屏系列控制器，可觸屏操作讀取數據，方便工況現場使用，無需電腦，像手機一樣方便。

MC系列：無屏幕系列控制器，可通過上位機軟件設定流量、讀取數據，適用配套用戶，軟件可同時測控16臺流量計或控制器。

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數：

l 精度：±1.0%S.P.  , ± 0.5%S.P.

l 重復精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度20℃）

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應時間：≤700ms.

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~700kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 配套流量校準平臺的流量控制設備

l 實驗中的氣體流量控制

l 機械動力測試系統中的氣體流量控制

l 材料制備實驗中的中的氣體流量控制

l 真空實驗艙及真空試驗系統中的氣體流量控制

l 生物反應器實驗裝置中的氣體流量控制

l 高精度實驗儀器的研發和試制

l 分析測試儀器

易度智能層流壓差式氣體質量流量控制器通用于工業配套、高校研究院所實驗室等氣體流量測控領域。