寬量程氣體質量流量控制器

易度智能SC100-WR寬量程氣體質量流量控制器在SC100標準型層流質量流量控制器的基礎上提高2倍的可精確測量范圍，實現在10%~100%的量程范圍內達到1%設定值精度，并通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。同時，內置多種氣體和混氣設置，觸屏式操作的自由切換，有效簡化了系統的復雜度，減少客戶采購成本，提高系統的穩定度。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點擊輸入設定流量，或者提供上位機軟件設定流量。

l 核心優勢：高精度、高重復性、快速響應

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示4種過程變量

l 內置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數，并可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計模式使用

產品規格：

l 產品型號：SC100-WR

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數：

l 精度：SC100-WR：±1.0%S.P.(設定值)(10%～100%量程范圍)   ±0.1%F.S.(滿量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度20℃）

l 零點漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應時間：≤700ms.

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~800kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 標定臺系統搭建中的流量控制設備

l 需要大范圍調整流量的流控系統或設備集成

l 簡化集成設備或對設備體積敏感的場景

l 需要調控比較大流量的實驗研究場合

SC100-WR寬量程氣體質量流量控制器在于精度保證范圍更寬，適用于要求測控范圍更寬，對配套設備體積敏感的場景。