高精型氣體層流質量流量控制器

——對控制精度、重復性有更高要求的行業配套客戶優選

MC200高精型氣體層流質量流量控制器與SC200系列控制器的區別在于沒有觸摸式顯示屏，通過產品內置的壓力、溫度傳感器的精確補償及核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現出了杰出性能。堅固的金屬外殼，使產品在工業復雜環境下確保耐用性和強抗電磁干擾性能，同時，內置多種氣體和混氣設置，數字式和模擬式的通訊方式，實現流量的精確測量和控制。

量程范圍：0.5sccm~5000slpm

特征：

l 原理：層流壓差式流量計

l 高精度：±0.5%設定值精度

l 高重復性：±0.1%F.S.

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 標配：數字信號RS485，選配：模擬信號0-20mA或0~5V

l 內置49種氣體和混氣測量

l 提供上位機軟件實時顯示和下載數據信息

使用條件：

l 兼容內置的49種氣體和可編輯的混合氣體

l 閥門種類：N/C（常閉型）

l 工作流量范圍：1%~120%F.S.

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓差范圍：100kPa~700kPa

l 工作壓力：1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 供電電壓：﹢（19~29）VDC

l 消耗電流：＜150mA (供電電壓為24v時) ＜300mA（＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

應用場景

l 光學、原子鍍膜設備中的流控器件

l 制造設備中流控系統的集成和配套

l 精細化工生產線中的流控器件

l 生物反應器成套設備中的流控器件

l 配氣系統或裝置中的流控器件

l 分析儀器、科學儀器中的流控器件

l 定制化成套自動化設備中的流控器件

MC200高精型氣體層流質量流量控制器適用于對精度、重復性要求更高的配套用戶。